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디스플레이 핵심 장비 '디지털 노광기' 개발

노광기 개발에 5년간 총 410억원 투입

김재욱 기자  2013.12.16 11:46:54

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우리나라가 디스플레이 생산의 핵심 장비인 '디지털 노광기(Digital stepper)' 기술을 개발했다. 연간 6000억원에 달하는 노광기 수입 비용이 절감될 것으로 전망된다.

산업통상자원부는 국내에 원천 기술이 없어 모두 수입에 의존하던 디지털 노광기의 핵심 기술을 개발했다고 16일 발표했다.

노광기란 평판 디스플레이(FPD) 제조 공정 가운데 가장 핵심적인 장비로 포토 마스크(미세한 회로를 그려 놓은 필름)에 빛을 보내 유리 기판에 회로를 만드는 장비다.

이번에 개발된 기술은 아날로그 방식이 아닌 디지털 방식으로 개발된 세계 최초의 대형 노광기술(8세대급)로 노광기 핵심 부품인 마스크를 디지털화(Maskless)한 것이 핵심이다.

이를 통해 패턴 설계 후 즉시 테스트와 생산이 가능해져 연간 약 5000억원의 마스크 제작 비용이 절감되고 제품 개발기간도 3개월 이상 단축될 전망이다.

노광 공정은 평판 디스플레이 제조 공정 가운데 비용과 시간 측면에서 30~40% 이상을 차지하지만 그동안 일본(니콘, 캐논)을 비롯한 선진국으로부터 모든 장비(1대당 200억~300억원)를 수입(연평균 5억8000만달러)해 사용했다.

산업부는 지난 2008년 12월부터 2013년 9월까지 디지털 노광장비 핵심기술을 개발하는 전자정보디바이스 산업원천기술개발 사업에 211억6400만원(총 사업비 410억원)을 출연했다. 이 연구에는 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 연세대 등 21개 산·학·연 관련 기관이 참여했다.

산업부는 "노광기는 기술 수준이 매우 높고 외국 장비 기업의 통제로 기술 접근이 어려워 디스플레이 5대 핵심 장비 중 유일하게 국산화에 성공하지 못했었다"며 "이번 개발로 세계 최고인 국내 디스플레이 산업의 기술과 노하우가 경쟁국에 유출되는 위험을 방지하고 향후 국산 노광장비 수출 효과도 기대된다"고 말했다.